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电子束诱导处理新闻

电子束原子级3-D“雕刻”可以启用新的量子纳米器件

通过改变紧密聚焦的电子束的能量和剂量，研究人员已经证明了在二维氧化石墨烯层上蚀刻掉和沉积高分辨率纳米级图案的能力。无需更改电子束沉积室的化学成分即可完成3D加法减法“雕刻”，这为构建新一代纳米级结构提供了基础。 2020-09-15